| Номер документа в системі: | 100018 |
| Автор: | Дорфман В.Ф. |
| Назва документа: | Микрометаллургия в микроэлектронике |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1978 |
| УДК | 621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 272 с. |