| Номер документа в системі: | 101761 |
| Автор: | Терехин Н.А. |
| Назва документа: | Создание экологичных и виброустойчивых механических модулей высокопроизводительного оборудования для выращивания монокристаллического кремния [Электронный ресурс] |
| Видавництво: | РГБ |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 2005 |
| Мова документу | Російська |
| Кількість сторінок | 233 с. |