| Номер документа в системі: | 105121 |
| Автор: | Железникова Г.И. |
| Назва документа: | Элионная технология в производстве тонкопленочных микросхем |
| Видавництво: | ЛДНТП |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1983 |
| УДК | 621.3.049.772.1002.2 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 22 с. |