| Номер документа в системі: | 106550 |
| Назва документа: | Загрязнение кремниевых и окисленных кремниевых пластин при плазменном травлении |
| Видавництво: | Б.в. |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 2.12.80 |
| УДК | 621.3.049.77.002:621.794.4 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 20 с. |