| Номер документа в системі: | 108680 |
| Автор: | Зорин Е.И., Павлов П.В., Тетельбаум Д.И. |
| Назва документа: | Ионное легирование полупроводников |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1975 |
| УДК | 621.382.002+621.315.592.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 129 с. |