| Номер документа в системі: | 109329 |
| Автор: | Кирюшина И.В. |
| Назва документа: | Процессы жидкостной химической подготовки кремниевых пластин в производстве СБИС с субмикронными проектными нормами [Электронный ресурс] |
| Видавництво: | РГБ |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 2003 |
| Мова документу | Російська |
| Кількість сторінок | 201 с. |