| Номер документа в системі: | 109331 |
| Автор: | Кушхов А.Р. |
| Назва документа: | Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники (Электронный ресурс) |
| Видавництво: | РГБ |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 2005 |
| Мова документу | Російська |
| Кількість сторінок | 23 с. |