Номер документа в системі: | 109332 |
Автор: | Кушхов А.Р. |
Назва документа: | Особенности ионно-плазменного травления арсенида галлия и фосфида индия применительно к элементам твердотельной электроники [Электронный ресурс] |
Видавництво: | РГБ |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 2005 |
Мова документу | Російська |
Кількість сторінок | 151 с. |