| Номер документа в системі: | 109333 |
| Автор: | Залкинд Я.Г. |
| Назва документа: | Физикомеханические наноструктур как технологического материала микросистемной техники [Электронный ресурс] |
| Видавництво: | РГБ |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 2006 |
| Мова документу | Російська |
| Кількість сторінок | 134 с. |