Номер документа в системі: | 109517 |
Автор: | Иванов Р. Д. |
Назва документа: | Катодный метод создания пленочных элементов микросхем |
Видавництво: | Энергия |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1972 |
УДК | 539.23+621.3.049.772 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 539.23 |
Кількість сторінок | 111 с. |