| Номер документа в системі: | 109545 |
| Автор: | Иванов-Есипович Н.К. |
| Назва документа: | Инженерные основы пленочной микроэлектроники |
| Видавництво: | Энергия, Ленингр. отд-ние |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1968 |
| УДК | 621.3.049.772-416 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.37/.39 |
| Кількість сторінок | 174 с. |