| Номер документа в системі: | 109564 |
| Автор: | Иванов-Есипович Н. К. |
| Назва документа: | Технология микросхем |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1972 |
| УДК | 621.3.049.77.002(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 256 с. |