| Номер документа в системі: | 110817 |
| Автор: | Дубовой Н.Д., Осекин В.И., Очков А.С. |
| Назва документа: | Измерения и контроль в микроэлектронике |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1984 |
| УДК | 621.3.049.77.08(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 367 с. |