Номер документа в системі: | 111321 |
Автор: | Двуреченский А. В. , Качурин Г. А., Нидаев Е. В., Смирнов Л. С. |
Назва документа: | Импульсный отжиг полупроводниковых материалов |
Видавництво: | Наука |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1982 |
УДК | 621.315.592.002 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.315 |
Кількість сторінок | 208 с. |