| Номер документа в системі: | 111644 |
| Автор: | Михалевич В.С., Морозов А.А., Палагин А.В. |
| Назва документа: | Инженерный центр микролектроники |
| Видавництво: | Техніка |
| Місто видання: | К. |
| Рік видання: | 1987 |
| УДК | 621.3.049.77 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 53 с. |