| Номер документа в системі: | 111653 |
| Назва документа: | Ионная имплантация и лучевая технология |
| Видавництво: | Наук. думка |
| Місто видання: | К. |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.382.002:621.359+621.359 |
| ISBN | 5-12-009334-5 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.38 |
| Кількість сторінок | 360 с. |