| Номер документа в системі: | 112870 |
| Автор: | Каверзнев В.А., Зайцев А.А., Овечкин Ю.А. |
| Назва документа: | Статическое электричество в полупроводниковой промышленности |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1975 |
| УДК | 621.382 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 113 с. |