| Номер документа в системі: | 114971 |
| Назва документа: | Исследование плазмохимических процессов очистки различных поверхностей многослойных п/п структур и травления материалов, используемых в технологии МДП БИС |
| Видавництво: | Б.в. |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1979 |
| УДК | 621.3049.771.14.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 75 л. |