Номер документа в системі: | 114988 |
Назва документа: | Исследование процессов ионно-плазменной обработки кремния при изготовлении полупроводниковых приборов |
Видавництво: | ВНИТИцентр |
Місто видання: | Одесса |
Рік видання: | 1977 |
УДК | 621.382.002 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.38 |
Кількість сторінок | 49 л. |