| Номер документа в системі: | 115049 |
| Назва документа: | Исследование состояния поверхности полупроводников после ионно-плазменного воздействия при плазмохимическом нанесении диэлектриков |
| Видавництво: | Каунасский политехн. ин-т |
| Місто видання: | Каунас |
| Рік видання: | 1979 |
| УДК | 621.3.049.77.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 70 л. |