Номер документа в системі: | 116961 |
Автор: | Жавжаров Є.Л., Бялік Г.А., Матюшин В.М. |
Назва документа: | Модифікація тонких металевих плівок під дією атомів водню |
УДК | 669.5 |
Мова документу | Українська |
Аннотація | Досліджено вплив атомарного водню на електрофізичні і структурні властивості тонких плівок нікелю, отриманих термічним вакуумним випаровуванням на діелектричні підкладинки. Зразки піддавались обробці в атомарному водні з концентрацією 1018.1019м-3 притемпературі 300.310 К і тиску .20 Па. Показано, що обробка плівок в середовищі атомарного водню призводить до зміни електрофізичних і структурних параметрів плівок. Встановлено механізм зміни параметрів плівок, який пояснює результати дослідження. |
Кількість сторінок | С. 23-27. |