| Номер документа в системі: | 117774 |
| Автор: | Карбань В.И., Борзаков Ю.И. |
| Назва документа: | Обработка монокристаллов в микроэлектронике |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1988 |
| УДК | 621.3.049.77.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 104 с. |