| Номер документа в системі: | 118013 |
| Автор: | Карпман И.М., Либенсон М.Н., Яковлев Е.Б. |
| Назва документа: | Лазерная термолитография в производстве интегральных схем |
| Видавництво: | ЛДНТП |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1981 |
| УДК | 621.3.049.77.002:776 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 26 с. |