| Номер документа в системі: | 119484 |
| Назва документа: | Качество материалов для полупроводниковой техники |
| Видавництво: | Металлургиздат |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1959 |
| УДК | 621.315.592 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315.5 |
| Кількість сторінок | 192 с. |