| Номер документа в системі: | 120857 |
| Автор: | Киреев В.Ю., Данилин Б.С., Кузнецов В.И. |
| Назва документа: | Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1983 |
| УДК | 621.3.049.77.002:621.794.4 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 126 с. |