| Номер документа в системі: | 123882 |
| Автор: | Никонова А.А., Левинзон Д.И., Небеснюк О.Ю. |
| Назва документа: | Технологические особенности изготовления контактных систем к полупроводниковым структурам |
| УДК | 621.38 |
| Мова документу | Російська |
| Аннотація | Разработана многослойная система металлизации, состоящая из слоя силицида, барьерного слоя и низкоомного верхнего контактного слоя для устранения взаимодействия с нижележащим слоем кремния в контактных «окнах». |
| Кількість сторінок | С. 34-36. |