| Номер документа в системі: | 125104 |
| Автор: | Невлюдов И.Ш., Стародубцев Н.Г. |
| Назва документа: | Контроль толщины полупроводниковых пластин в процессе обработки |
| УДК | 621.317.333 |
| Мова документу | Російська |
| Аннотація | Предлагается метод контроля толщины полупроводниковой пластины в процессе производства, позволяющий повысить его производительность и качество изделий. Для проверки предложенных теоретических положений проведены экспериментальные исследования, приведеноописание экспериментальной установки, методики проведения измерений, приводятся результаты. |
| Кількість сторінок | С. 40-45. |