Номер документа в системі: | 125675 |
Автор: | Шрам О. А. |
Назва документа: | Математична модель ионоплазового процесу модифікації поверхні скла |
Видавництво: | ЗНТУ |
Місто видання: | Запоріжжя |
УДК | 658.26:621.31 |
Мова документу | Українська |
Шифр документу | Ч21 |
Кількість сторінок | С. 136. |