| Номер документа в системі: | 126123 |
| Автор: | Матюшин В.М. |
| Назва документа: | Воздействие атомарного водорода на поверхность полупроводниковых структур |
| Видавництво: | ЗНТУ |
| Місто видання: | Запоріжжя |
| УДК | 539.229.3 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | Ч21 |
| Кількість сторінок | С. 179-181. |