| Номер документа в системі: | 127568 |
| Автор: | Колешко В.М., Гойденко П.П., Буйко Л.Д. |
| Назва документа: | Контроль в технологии микроэлектроники |
| Видавництво: | Наука и техника |
| Місто видання: | Минск |
| Рік видання: | 1979 |
| УДК | 621.3.049.77.002:658.562 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 312 с. |