| Номер документа в системі: | 127574 |
| Автор: | Колешко В.М., Ковалевский А.А. |
| Назва документа: | Поликристаллические пленки полупроводников в микроэлектронике |
| Видавництво: | Наука и техника |
| Місто видання: | Минск |
| Рік видання: | 1978 |
| УДК | 621.3.049.772+621.315.592+539.23 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 343 с. |