| Номер документа в системі: | 127777 |
| Автор: | Колобов Н.А., Самохвалов М.М. |
| Назва документа: | Диффузия и окисление полупроводников |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1975 |
| УДК | 537.311.322:539.319.3+548.526 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 537 |
| Кількість сторінок | 454 с. |