Номер документа в системі: | 132486 |
Автор: | Конев В.А., Любецкий Н.В., Тиханович С.А. |
Назва документа: | Радиоволновая эллипсометрия диэлектрических структур |
Видавництво: | Наука и техника |
Місто видання: | Минск |
Рік видання: | 1989 |
УДК | 620.179.18+539.211.08+681.785.3 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 620.1 |
Кількість сторінок | 134 с. |