| Номер документа в системі: | 132511 |
| Автор: | Конников С. Г., Сидоров А. Ф. |
| Назва документа: | Электронно-зондовые методы исследования полупроводниковых материалов и приборов |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1978 |
| УДК | 621.382.001.5+621.315.592.001+621.382:620.187 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 136 с. |