| Номер документа в системі: | 132631 |
| Автор: | Проценко І.Ю., Шумакова Н.І. |
| Назва документа: | Технологія одержання і застосування плівкових матеріалів |
| Видавництво: | СумДУ |
| Місто видання: | Суми |
| Рік видання: | 2008 |
| УДК | 621.793(075.8)+538.9(075.8) |
| Мова документу | Українська |
| Шифр документу | 621.79 |
| Аннотація | У навчальному посібнику розглянуті основи одержання металевих, алмазоподібних і споріднених з ними плівок, їх особливості та фізичні властивості.
Навчальний посібник призначено для студентів та аспірантів вищих навчальних закладів освіти.
Зміст
Передмова…7
Частина 1 Технологія одержання та вимірювання товщини тонких плівок…9
Вступ…9
Розділ 1 Методи одержання плівкових матеріалів…10
1Основи термодинаміки та кінетичної теорії газів…10
1.1Рівноважний тиск пари…10
1.2Розподіл атомів пари за швидкостями…13
1.3Механізми випаровування рідин та твердих тіл…16
2Конструкції термовипарників та їх застосування…19
2.1Загальна інформація...19
2.2Випаровування із дротів та металевої фольги…20
2.3Випаровування із тиглів, матеріали тиглів…21
2.4Випаровування матеріалів електронно-променевими методами…23
3Вакуумно-плазмова технологія…27
4Плазмові випарники...29
4.1Випарники з випаровуванням матеріалу катода…29
4.2Вакуумно-дугові випарники…32
4.3Випарники з випаровуванням матеріалу анода…33
4.4Ел |
| Кількість сторінок | 198 с. |