| Аннотація | У навчальному посібнику розглянуті питання будови та
принципу роботи електронно-променевих і спектральних приладів,
таких, як просвічуючі та растрові електронні мікроскопи,
електронографи, рентгенівські апарати, прилади мікрорентгенівського
аналізу,оже-електронної спектроскопії та вторинно-іонної мас-
спектрометрії. Викладені експериментальні методи дослідження
кристалічної будови та хімічного й елементного складу плівкових
матеріалів.
Навчальний посібник призначено для студентів вищих навчальних закладів, що навчаються за напрямом "Електронні пристрої та системи".
ЗМІСТ
Передмова...7
Частина 1 Будова та принцип роботи електронно-
променевих приладів...8
Вступ...8
Розділ 1 Взаємодія пучка електронів з твердим тілом...9
1.Розсіювання пучка електронів...9
1.1.Поняття про розсіювання...9
1.2.Пружне розсіювання...11
1.3.Непружне розсіювання...11
2.Область взаємодії пучка електронів з твердим тілом...16
3Відбиті електрони...25
3.1.Коефіцієнт відбиття...25
3.2.Залежність коефіцієнта |