Номер документа в системі: | 133251 |
Автор: | Концевой Ю. А., Кудин В. Д. |
Назва документа: | Методы контроля технологии производства полупроводниковых приборов |
Видавництво: | Энергия |
Місто видання: | Львів |
Рік видання: | 1973 |
УДК | 621.382.002:658.562 |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 142 с. |