| Номер документа в системі: | 133832 |
| Автор: | Корзо В. Ф., Черняев В. Н. |
| Назва документа: | Диэлектрические пленки в микроэлектронике |
| Видавництво: | Энергия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1977 |
| УДК | 621.3.049.77.002.3-416 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 368 с. |