| Номер документа в системі: | 134376 |
| Автор: | Городилов А. А. |
| Назва документа: | Разработка и исследование кассет для процессов вплавления в полупроводниковом производстве |
| Видавництво: | МИМЭ |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1972 |
| УДК | 621.382+621.315.592 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 29 с. |