| Номер документа в системі: | 134826 |
| Автор: | Левинзон Д.И. |
| Назва документа: | Применение зондовых методов измерения удельного сопротивления для контроля однородности полупроводниковых материалов |
| Видавництво: | НИИ Редкометаллической промышленности |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1966 |
| УДК | 621.315.5 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315.5 |
| Кількість сторінок | 23 с. |