| Номер документа в системі: | 138310 |
| Автор: | Тилл У., Лаксон Дж. |
| Назва документа: | Интегральные схемы : материалы, приборы, изготовление |
| Видавництво: | Мир |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1985 |
| УДК | 621.3.049.77 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 501 с. |