| Номер документа в системі: | 141505 |
| Автор: | Крапухин В. В., Соколов И. А., Кузнецов Г. Д. |
| Назва документа: | Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов |
| Видавництво: | Металлургия |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1982 |
| УДК | 621.315.592.002(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 352 с. |