| Номер документа в системі: | 141608 |
| Автор: | Красов В.Г., Петраускас Г.Б., Чернозубов Ю.С. |
| Назва документа: | Толстопленочная технология в СВЧ микроэлектронике |
| Видавництво: | Радио и связь |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1985 |
| УДК | 621.3.049.772.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.3 |
| Кількість сторінок | 167 с. |