| Номер документа в системі: | 143319 |
| Автор: | Кузнецов Г.Ф., Семилетов С.А. |
| Назва документа: | Дифракциооные методы неразрушающего контроля реальной структуры эпитаксиальных и поликристаллических пленок в микроэлектронике |
| Видавництво: | ЦНИИ ЭЛЕКТРОНИКА" |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1975 |
| УДК | 620.179+621.3.049.772 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 620.17 |
| Кількість сторінок | 94 с. |