| Номер документа в системі: | 144243 |
| Автор: | Курносов А.И., Юдин В.В. |
| Назва документа: | Технология и оборудование производства полупроводниковых приборов |
| Видавництво: | Судостроение |
| Місто видання: | Ленинград |
| Рік видання: | 1971 |
| УДК | 621.382.002 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 263 с. |