| Номер документа в системі: | 144249 |
| Автор: | Курносов А. И., Юдин В. В. |
| Назва документа: | Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: для вузов специальности "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые приборы" |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1979 |
| УДК | 621.382.002(075) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.382 |
| Кількість сторінок | 367 с. |