Номер документа в системі: | 144249 |
Автор: | Курносов А. И., Юдин В. В. |
Назва документа: | Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем: для вузов специальности "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые приборы" |
Видавництво: | Высш. школа |
Місто видання: | М. |
Рік видання: | 1979 |
УДК | 621.382.002(075) |
Мова документу | Російська |
Шифр документу | 621.382 |
Кількість сторінок | 367 с. |