| Номер документа в системі: | 144251 |
| Автор: | Курносов А. И., Юдин В. В. |
| Назва документа: | Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем |
| Видавництво: | Высш. школа |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1986 |
| УДК | 621.382.002(075)+621.3.049.77.002(075.8) |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.38 |
| Кількість сторінок | 368 с. |