| Номер документа в системі: | 146948 |
| Автор: | Смирнов Л. С., Соловьев С. П., Стась В. Ф., Харченко В. А. |
| Назва документа: | Легирование полупроводников методом ядерных реакций |
| Видавництво: | Наука |
| Місто видання: | Новосибирск |
| Рік видання: | 1981 |
| УДК | 621.315.592 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 621.315 |
| Кількість сторінок | 181 с. |