| Номер документа в системі: | 148361 |
| Автор: | Литовченко В.Г., Попов В.Г. |
| Назва документа: | Физика поверхности и микроэлектроника |
| Видавництво: | Знание |
| Місто видання: | М. |
| Рік видання: | 1990 |
| УДК | 539.211+621.382.049.77 |
| Мова документу | Російська |
| Шифр документу | 539.2 |
| Кількість сторінок | 61 с. |