| Номер документа в системі: | 149800 |
| Автор: | Томашевський О.В., Погосов В.В. |
| Назва документа: | Про критерії ефективності управління якістю інтегрованих мікросхем на етапі виробництва |
| УДК | 658.562.012.1 |
| Мова документу | Українська |
| Аннотація | На етапі виробництва якість інтегрованих мікрос-хем багато в чому визначається стабільністю техно-логічних процесів. Для дослідження ефективності ви-явлення розлагодження технологічних процесів запропо-новано використовувати теорію випадкового блукання броунівської частинки. Отримано інтегральні рівняння Фредгольма 2-го роду для оцінки середніх довжин серій вибірок налагодженого чи розлагодженого процесів й імо-вірності першого виходу траєкторій за нижню межу. |
| Кількість сторінок | С. 35-38. |